壓力傳感器,光纖壓力傳感器的重要傳感元件是法布利-比洛特型光學(xué)干涉儀。干涉儀的兩面鏡子分別是位于一端的薄膜內(nèi)表面和位于另一端的光纖尖端。所施加的壓力P引起了薄膜的偏移,而此偏移又直接轉(zhuǎn)換成了FP干涉儀空腔長(zhǎng)度的變化。
工業(yè)壓力傳感器為得到薄膜偏移和所施加的壓力間的線性關(guān)系,傳感器的形狀和材料都經(jīng)嚴(yán)格選擇。其系可表示為:
Lcav(P) = L0 + (P-P0S)
其中S 是傳感器的靈敏度(單位nm)
L0是處于零點(diǎn)初始狀態(tài)的空腔長(zhǎng)度(單位nm),通常定義為P =P0
Lcav是由信號(hào)解調(diào)器所測(cè)得的空腔長(zhǎng)度(單位nm)
P0是FP空腔內(nèi)的壓力(單位psi)
P是施加到薄膜外表面上的壓力(單位psi)
壓力開(kāi)關(guān)光纖壓力傳感器壓力開(kāi)關(guān)有三種不同的類(lèi)型:量規(guī)型、絕對(duì)型、差分型。在量規(guī)型傳感器的情況下,P0等于周?chē)鷫毫虼髿鈮?。量?guī)型傳感器有a)一個(gè)通氣孔,它使空腔處于周?chē)鷫毫ο禄騜)一個(gè)密封成大氣壓的空腔;在絕對(duì)型壓力傳感器的情形下,P0 = 0,工廠生產(chǎn)時(shí)其空腔在真空狀態(tài)下密封;而在差分型傳感器的情形下,P0等于任意的壓力。這種類(lèi)型的傳感器有一個(gè)通氣孔接頭,用于維持空腔內(nèi)給定的壓力。
液位傳感器信號(hào)解調(diào)器(FTI-100i, FTI-10,等)將來(lái)自傳感器的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成絕對(duì)FP空腔長(zhǎng)度。這個(gè)空腔長(zhǎng)度之所以被稱(chēng)為絕對(duì)是因?yàn)樗_實(shí)對(duì)應(yīng)著測(cè)量這個(gè)光信號(hào)時(shí)的FP干涉儀的物理空腔長(zhǎng)度。這個(gè)差別是重要的,因?yàn)樵S多光纖傳感技術(shù)、尤其是那些基于單色光干涉術(shù)的傳感技術(shù),僅能測(cè)量長(zhǎng)度變化ΔL。在要求長(zhǎng)期靜態(tài)測(cè)量的所有應(yīng)用中,絕對(duì)測(cè)量是至關(guān)重要的。光信號(hào)以信號(hào)解調(diào)器采樣速度所確定的頻率被轉(zhuǎn)化。在壓力傳感器的情況下,10,000nm 的工作范圍內(nèi)轉(zhuǎn)化準(zhǔn)確度為±1nm。 一旦測(cè)得空腔長(zhǎng)度Lcav,解調(diào)器就會(huì)根據(jù)下面的公式計(jì)算 P-P0P-P0 = (Lcav-L0)/S
然后就計(jì)錄并在解調(diào)器上顯示這一壓力值。靈敏度系數(shù)S及L0的初始定義值提供了將所測(cè)得的空腔長(zhǎng)度轉(zhuǎn)化為壓力的所有必要信息
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