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分析壓力傳感器的發(fā)展趨勢


東莞市南力測控設備有限公司推出新產品:壓力開關,壓力變送器,壓力傳感器稱重傳感器,液位傳感器如有意向購買者請致電:0769-88119598

  壓力傳感器已成為各類傳感器中技術最成熟、性能最穩(wěn)定、性價比最高的一類傳感器。因此對于從事現(xiàn)代測量與自動控制專業(yè)的技術人員必須了解和熟識國內外壓力傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢。在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點,可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。

  除此以外,還廣泛應用于水利、地質、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。傳感器技術是現(xiàn)代測量和自動化系統(tǒng)的重要技術之一,從宇宙開發(fā)到海底探秘,從生產的過程控制到現(xiàn)代文明生活,幾乎每一項技術都離不開傳感器,因此, 許多國家對傳感器技術的發(fā)展十分重視,如日本把傳感器技術列為六大核心技術(計算機、通信、激光、半導體、超導體和傳感器) 之一。

  壓力傳感器由于該技術是平面工藝與立體加工相結合,又便于集成化,所以可用來制成血壓計、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等,現(xiàn)代壓力傳感器以半導體傳感器的發(fā)明為標志,而半導體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段: 發(fā)明階段半導體材料的這一特性得到較廣泛應用,技術發(fā)展階段隨著硅擴散技術的發(fā)展,這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點,實現(xiàn)了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。

  商業(yè)化集成加工階段在硅杯擴散理論的基礎上應用了硅的各向異性的腐蝕技術,擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術為主,壓力傳感器發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術,主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法,微機械加工階段上世紀末出現(xiàn)的納米技術,使得微機械加工工藝成為可能,通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結構型的壓力傳感器,其線度可以控制在微米級范圍內。

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